[18p-E10-1~20] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18p-E10-7] InGaZnOの構造評価Ⅲ：CAAC-InGaZnO薄膜の結晶構造解析

^○舩木雅之，山崎亨，阿久津恵子 (材料科学技術振興財団)

キーワード：InGaZnO,構造解析,TEM