[18p-E10-1~20] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18p-E10-8] InGaZnOの構造評価Ⅳ：デジタル画像解析を用いたナノ結晶構造評価

^○阿久津恵子，舩木雅之，山崎亨 (材料科学技術振興財団)

キーワード：InGaZnO,画像解析,フーリエ変換