[18p-E10-1~20] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18p-E10-9] スパッタ法で成膜したナノ結晶酸化物半導体への電子線照射効果の調査(1)

^○矢野路子，髙橋絵里香，大力浩二，高橋正弘，廣橋拓也，山﨑舜平 (半エネ研)

キーワード：酸化物半導体,ナノ結晶,極微電子線回折