2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年3月18日(火) 13:15 〜 18:45 E14 (E302)

14:45 〜 15:00

[18p-E14-7] ビーズを用いたPDMS製細菌捕獲チップの検討

○林隆平1，中澤寛一1，西村祐典1，石田誠1，澤田和明1，石井仁1，町田克之2,3，益一哉2，飯田健一郎4，齋藤光正4，吉田眞一4 (豊橋技科大1，東工大2，NTTｱﾄﾞﾊﾞﾝｽﾃｸﾉﾛｼﾞ3，九大医学研究院4)

キーワード：MEMS,レジオネラ,蛍光