[18p-E2-1~18] 17.1 成長技術

[18p-E2-10] 低温熱CVD法による300mmウェハ上への多層グラフェン合成プロセスの開発

^○西出大亮，松本貴士，伊東伴，山崎雄一，片桐雅之，宮崎久生，加賀谷宗仁，井福亮太，和田真，齋藤達朗，北村政幸，渡邉勝仁，佐久間尚志，梶田明広，酒井忠司 (LEAP)

キーワード：グラフェン,Graphene