[18p-F11-1~17] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[18p-F11-8] 自己整合積層型ソース・ドレイン電極によるInAs ナノワイヤFET の短ゲート化

^○佐々木智，舘野功太，章国強，原田裕一，齊藤志郎，藤原聡，寒川哲臣，村木康二 (ＮＴＴ物性研)

キーワード：ナノワイヤ,InAs,FET