[18p-F11-1~17] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[18p-F11-9] 埋め込み型GaAs/AlGaAsヘテロ構造ナノワイヤの形成とその水蒸気酸化

日比秀昭¹，近藤正彦¹，^○石川史太郎² (阪大院工¹，愛媛大院理工²)

キーワード：ナノワイヤ