[18p-F3-1~19] 7.4 ナノインプリント

[18p-F3-14] 連続ＵＶナノインプリントおける離型層劣化要因の検討

^○伊吉就三^1,2，岡田真^1,2，春山雄一^1,2，中川勝^2,3，廣島洋^2,4，松井真二^1,2 (兵庫県立大¹，JST-CREST²，東北大³，産総研⁴)

キーワード：UVナノインプリント,離型