2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15．結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[18p-F6-1~20] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2014年3月18日(火) 13:30 〜 18:45 F6 (F306)

14:45 〜 15:00

[18p-F6-6] Pデルタドープによるn型Geへの極浅オーミック接触の形成

○山田道洋1，竹内嘉寛2，澤野憲太郎2，伊藤公平1 (慶大理工1，東京都市大2)

キーワード：delta-doping,Ge,Ohmic contact