[18p-PA7-1~2] 8.4 プラズマエッチング

[18p-PA7-2] 第一原理計算に基づくHプラズマによるSi表面のエッチングレートの解析

^○稲垣耕司^1,2，森川良忠¹，安武潔^1,2 (阪大院工¹，CREST-JST²)

キーワード：Si表面,Hプラズマ,エッチングレート