[18p-PG7-1~2] 15.7 エピタキシーの基礎

[18p-PG7-1] GaAs MCEにおけるステップ源である積層欠陥からの2次元核の生成

^○冨田将史，高倉宏幸，岩川宗樹，水野陽介，山田純平，神林大介，成塚重弥，丸山隆浩 (名城大理工)

キーワード：LPE,MCE,GaAs