2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[19a-D9-1~13] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

2014年3月19日(水) 09:00 〜 12:30 D9 (D315)

11:15 〜 11:30

[19a-D9-9] MEMS片持ち梁の表面エネルギー評価方法について

○加藤一郎 (宇宙航空研究開発機構)

キーワード：cantilever,Stiction,surface energy