[19p-D9-1~18] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

△ [19p-D9-2] Si窒化膜表面近傍における不純物金属原子の安定性に関する第一原理解析

^○（M2）小林駿介¹，柴田大生¹，末岡浩治¹，小町潤²，嵯峨幸一郎² (岡山県大院情報系¹，ソニー²)

キーワード：β-Si3N4表面,第一原理解析,SiN窒化膜表面