2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[19p-D9-1~18] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

2014年3月19日(水) 14:00 〜 19:00 D9 (D315)

15:30 〜 15:45

[19p-D9-7] ソース・ドレインの不純物位置ばらつきによる電流ばらつきの解析

鈴木晃人1,阿久津梨花1,今井裕也1,神岡武文2,鎌倉良成3,渡邉孝信1 (早大理工1,豊田工大2,阪大院工3)

キーワード:EMC/MD,RDF,RTN