[19p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-E14-10] ミニマル加熱炉における急速加熱でのスリップ転位の発現

^○遠江栄希¹，谷島孝¹，石田夕起^1,2，池田伸一^1,2，ソマワンクンプアン^1,2，原史朗^1,2 (ミニマルファブ技術研究組合¹，産総研²)

キーワード：スリップ転位