講演情報

Tweet

一般セッション(口頭講演)

08．プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング

2014年3月19日(水) 14:00 〜 19:00 F6 (F306)

16:30 〜 16:45

[19p-F6-10] プラズマチャージングダメージによるMOSFETランダムテレグラフノイズ(RTN)特性の変動

亀井政幸，^○江利口浩二，鷹尾祥典，斧高一 (京大院工)

キーワード：プラズマダメージ,ランダムテレグラフノイズ,MOSFET