2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング

2014年3月19日(水) 14:00 〜 19:00 F6 (F306)

16:45 〜 17:00

[19p-F6-11] Si、SiO2およびSiNにおけるSiBrxイオンによる反応

唐橋一浩1,村木裕1,李虎1,松隈正明2,浜口智志1 (阪大院工1,東京エレクトロン2)

キーワード:エッチング生成物,HBr