[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング

[19p-F6-12] COクラスターの生成および評価

^○唐橋一浩¹，瀬木利夫²，松尾二郎²，浜口智志¹ (阪大院工¹，京大院工²)

キーワード：クラスター,磁性体