[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング

[19p-F6-17] CF_4-x(x=0-3)化合物の超励起状態とイオン化

^○林俊雄，石川健治，関根誠，堀勝 (名大)

キーワード：CFx ラジカル,超励起状態,イオン化閾値