2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング

2014年3月19日(水) 14:00 〜 19:00 F6 (F306)

16:15 〜 16:30

[19p-F6-9] プラズマ誘起Si基板ダメージの熱処理回復過程の検討(1)

江利口浩二1,深沢正永2,鷹尾祥典1,辰巳哲也2,斧高一1 (京大院工1,ソニー2)

キーワード:プラズマダメージ,熱処理,欠陥