[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング

[19p-F6-9] プラズマ誘起Si基板ダメージの熱処理回復過程の検討(1)

^○江利口浩二¹，深沢正永²，鷹尾祥典¹，辰巳哲也²，斧高一¹ (京大院工¹，ソニー²)

キーワード：プラズマダメージ,熱処理,欠陥