[19p-F9-1~17] 15.8 結晶評価，不純物，結晶欠陥

[19p-F9-16] 種々のSbドープSiGeエピタキシャル膜中の転位運動

^○牧慎也¹，伏見竜也²，山下善文²，大野裕³，米永一郎³，西川亘²，林靖彦² (岡山大工¹，岡山大院自然²，東北大金研³)

キーワード：転位