[19p-PA2-1~9] 1.3 新技術・複合新領域

[19p-PA2-6] 傾斜ドライエッチングを用いた酸化チタンフォトニック結晶の作製と評価

^○松下祥子¹，小林大斗¹，松谷晃宏²，西岡國生²，庄司大²，佐藤美那²，磯部敏宏¹，中島章¹，立間徹³ (東工大材料¹，東工大MEMS²，東大生研³)

キーワード：フォトニック結晶,太陽電池,酸化チタン