[19p-PG3-1~32] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-PG3-3] エネルギーハーベスティングデバイスの検討(2)

^○加賀谷賢¹，小西敏文²，山根大輔¹，松島隆明²，伊藤浩之¹，石原昇¹，年吉洋³，町田克之^1,2，益一哉¹ (東工大¹，NTTアドバンステクノロジ²，東大³)

キーワード：MEMS,エネルギーハーベスティング,Energy Harvesting