2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.1 探索的材料物性

[20a-D3-1~11] 14.1 探索的材料物性

2014年3月20日(木) 09:00 〜 12:00 D3 (D114)

09:30 〜 09:45

[20a-D3-3] BaSi2エピタキシャル膜におけるPの拡散係数評価

○(M1)章寧1,馬場正和1,WeijieDu1,小池信太郎1,高部涼太1,都甲薫1,末益崇1,2 (筑波大1,CREST-JST2)

キーワード:半導体,拡散係数