10:45 〜 11:00
[20a-E14-7] 高性能パワー素子特性向上のための高温短時間プロセスの検討
キーワード：プロセス ,接合
講演情報
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
[20a-E14-1~10] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2014年3月20日(木) 09:00 〜 11:45 E14 (E302)
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2014年3月20日(木) 09:00 〜 11:45 E14 (E302)
10:45 〜 11:00
キーワード：プロセス ,接合