[20a-PG1-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20a-PG1-16] MOMBEを用いたGaN初期成長に与えるN₂マイクロプラズマ処理の効果

^○鈴木陽平¹，内山翔太¹，丸山隆浩¹，成塚重弥¹，清水一男²，野間悠太²，金田省吾² (名城大理工¹，静岡大工²)

キーワード：MOMBE,GaN