13:15 〜 13:30
[20p-E14-1] 不純物・欠陥によるS原子ペアーのショットキー障壁変調への影響
キーワード：ショットキー,硫黄,不純物
講演情報
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
[20p-E14-1~4] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2014年3月20日(木) 13:15 〜 14:15 E14 (E302)
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2014年3月20日(木) 13:15 〜 14:15 E14 (E302)
13:15 〜 13:30
キーワード：ショットキー,硫黄,不純物