[20p-E14-1~4] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

△ [20p-E14-3] マイクロ流路を用いた流れ環境下における銅の溶解観察 ―溶存酸素量の溶解挙動への影響―

^○森洋輔¹，鈴木崇弘¹，高東智佳子²，早瀬仁則¹ (東理大¹，荏原製作所²)

キーワード：銅,腐食