[15p-1A-1~14] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[15p-1A-5] レーザアニールとカーボン侵入型金属による低抵抗SiCオーミック接触の形成

〇ミランタ デシルワ¹、石川 誠治²、前田 知徳²、瀬崎 洋²、吉川 公麿¹、黒木 伸一郎¹ (1.広大　RNBS、2.フェニテック)

キーワード：SiC、オーミック、レーザアニール