[16a-1B-1~12] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [16a-1B-8] アナターゼ型Ti_1-xNb_xO₂の電気伝導の方位依存性

〇(M2)山口 裕生¹、中尾 祥一郎^2,3、井野 龍一朗¹、河村 益徳¹、長谷川 哲也^2,3、山田 直臣¹ (1.中部大院工、2.KAST、3.東大理)

キーワード：透明導電膜、酸化チタン

MgAl₂O₄(100)単結晶上へ100配向TNO透明導電膜を成長させた。その特性を001配向させたTNO薄膜と比較しながら議論する。