[11p-B2-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[11p-B2-10] sub-20 nmの孔径を有する炭素被覆モールドを用いた光硬化性組成物の充填に関する研究

〇中川 勝¹、中谷 顕史¹、干川 康人¹、京谷 隆¹ (1.東北大多元研)

キーワード：光ナノインプリント、レジスト、モールド・マスク