2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.8 結晶評価,不純物・結晶欠陥

[12p-A18-1~18] 15.8 結晶評価,不純物・結晶欠陥

2015年3月12日(木) 14:00 〜 19:00 A18 (6A-208)

16:45 〜 17:00

[12p-A18-11] シリコンウェーハ中の酸素析出物を起因とするSlip転位発生の臨界応力

〇藤瀬 淳1、高 奉均1、鳥越 和尚1、小野 敏昭1 (1.株式会社SUMCO)

キーワード:酸素析出物、転位