[12p-A18-1~18] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [12p-A18-12] n型シリコンウェーハ中のFe関連準位の低温熱処理挙動

〇大仲 亜由美¹、門野 武¹、三次 伯知¹、栗田 一成¹ (1.SUMCO)

キーワード：シリコンウェーハの重金属汚染、シリコンウェーハの重金属起因の深い不純物準位、過渡容量分光法