2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.8 結晶評価,不純物・結晶欠陥

[12p-A18-1~18] 15.8 結晶評価,不純物・結晶欠陥

2015年3月12日(木) 14:00 〜 19:00 A18 (6A-208)

17:00 〜 17:15

[12p-A18-12] n型シリコンウェーハ中のFe関連準位の低温熱処理挙動

〇大仲 亜由美1、門野 武1、三次 伯知1、栗田 一成1 (1.SUMCO)

キーワード:シリコンウェーハの重金属汚染、シリコンウェーハの重金属起因の深い不純物準位、過渡容量分光法