[12p-A18-1~18] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[12p-A18-15] 炭素クラスターイオン照射によるSiウェーハの近接ゲッタリング（３） -エピ成長後の酸素の熱処理・拡散挙動-

〇奥田 秀彦¹、奥山 亮輔¹、岩永 卓朗¹、門野 武¹、廣瀬 諒¹、古賀 祥泰¹、栗田 一成¹ (1.株式会社SUMCO)

キーワード：酸素拡散、クラスターイオン照射