[12p-A18-1~18] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[12p-A18-6] ＭＣＺシリコン単結晶のバルクライフタイムに対する低炭素化の効果（２）

〇日笠 光朗¹、中川 聰子¹、鹿島 一日兒¹、永井 勇太¹ (1.グローバルウェーハズ・ジャパン)

キーワード：ライフタイム、シリコン、炭素