[12p-A18-1~18] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[12p-A18-9] シリコン中の空孔濃度に及ぼす不純物効果の検討 (II)

〇中村 浩三¹、末岡 浩治¹、神山 栄治¹ (1.岡山県大情報工)

キーワード：VH4、不純物効果