PDF ダウンロード スケジュール 7 いいね! 0 09:30 〜 11:30 [13a-P14-2] 二段階Pイオン注入によるメタル/n+Geコンタクト低抵抗化とGe nMOSFETの寄生抵抗低減 〇小池 正浩1、上牟田 雄一1、黒澤 悦男1、手塚 勉1 (1.産総研GNC) キーワード:半導体、ゲルマニウム、コンタクト抵抗