[14a-A24-1~12] 13.3 絶縁膜技術

[14a-A24-3] 低温アニールによるGeNx膜質改善

〇田中 佑治¹、岩崎 好孝¹、上野 智雄¹ (1.農工大工)

キーワード：ゲルマニウム、窒化膜