2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[14a-A27-1~15] 8.4 プラズマエッチング

2015年3月14日(土) 09:00 〜 13:00 A27 (6A-202)

11:30 〜 11:45

△ [14a-A27-10] 光学定数を用いたプラズマ誘起Si基板ダメージの面方位依存性

〇(B)岡田 行正1、江利口 浩二1、斧 高一1 (1.京大院工)

キーワード：プラズマダメージ