[14a-A27-1~15] 8.4 プラズマエッチング

△ [14a-A27-12] マイクロ波加熱によるシリコン表面近傍のプラズマ誘起欠陥修復

〇岩井 隆晃¹、江利口 浩二³、山内 祥平²、野呂 尚孝¹、北川 淳一¹、斧 髙一³ (1.東京エレクトロン山梨, 2.東京エレクトロン, 3.京大院工)

キーワード：シリコン、マイクロ波加熱、プラズマ誘起欠陥