[14a-A27-1~15] 8.4 プラズマエッチング

△ [14a-A27-14] ミニマルファブ用 TSV プラズマエッチング装置におけるフッ素ラジカルの発光強度依存性

〇本村 大成^{1, 2}、高橋 和貴³、笠嶋 悠司¹、上杉 文彦¹、安藤 晃³、小木曽 久人^{1, 2}、クンプアン ソマワン^{1, 2}、原 史朗^{1, 2} (1.産総研, 2.ミニマルファブ技術研究組合, 3.東北大)

キーワード：ミニマルファブ、プラズマエッチング、半導体