[14a-A27-1~15] 8.4 プラズマエッチング

△ [14a-A27-2] 透明電極材料のエッチング反応における水素ラジカル照射効果

〇李 虎¹、唐橋 一浩¹、深沢 正永²、長畑 和典²、辰巳 哲也²、浜口 智志¹ (1.阪大院工, 2.ソニー)

キーワード：透明電極材料、エッチング