2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[14a-A27-1~15] 8.4 プラズマエッチング

2015年3月14日(土) 09:00 〜 13:00 A27 (6A-202)

09:30 〜 09:45

▲ [14a-A27-3] InGaAs quantum dot fabrication by a top-down approach for optical devices applications: effect of nanoscale etching mask

〇Cedric Thomas1, 4, Chang-Yong Lee1, Akio Higo2, Naofumi Okamoto3, Ichiro Yamashita3, 4, Seiji Samukawa1, 2, 4 (1.Tohoku Univ., 2.WPI-AIMR, Tohoku Univ., 3.Nara Inst. of Info. and Technol., 4.JST-CREST)

キーワード：Neutral beam,InGaAs,bio-nano-process