[14a-A27-1~15] 8.4 プラズマエッチング

△ [14a-A27-5] ハイドロフルオロカーボン（HFC）プラズマによるSiNエッチングにおける水素反応効果:分子動力学シミュレーション解析

〇(M1)村上 雄一¹、礒部 倫郎¹、三宅 啓太¹、深沢 正永²、長畑 和典²、辰巳 哲也²、浜口 智志¹ (1.阪大工, 2.ソニー（株）)

キーワード：分子動力学、シリコン窒化膜、ハイドロフルオロカーボン