[14a-A27-1~15] 8.4 プラズマエッチング

[14a-A27-6] 酸素中性粒子ビームによる酸化及び錯体反応を用いた遷移金属エッチングメカニズム(2)

〇久保田 智広¹、菊地 良幸¹、寒川 誠二^{1, 2} (1.東北大流体研, 2.東北大WPI-AIMR)

キーワード：磁性体エッチング、第一原理理論計算、遷移金属錯体