[14a-A27-1~15] 8.4 プラズマエッチング

[14a-A27-7] シースコントロールプレートを用いた基板表面へのイオン斜入射とリップル形成

〇(D)中崎 暢也¹、園部 蒼馬¹、初瀬 巧¹、松本 悠¹、江利口 浩二¹、斧 高一¹ (1.京大院工)

キーワード：プラズマエッチング、イオン斜入射、リップル形成