2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[14a-A27-1~15] 8.4 プラズマエッチング

2015年3月14日(土) 09:00 〜 13:00 A27 (6A-202)

10:45 〜 11:00

[14a-A27-8] Cl­2プラズマSiエッチングにおける表面ラフネスの解析： 初期表面ラフネスの影響

〇(M1)松本 悠1 (1.京大院工)

キーワード：エッチング