09:00 〜 09:15 △ [15a-B7-1] 改良型導波管構造によるマイクロ波励起純窒素大気圧ラインプラズマの生成 〇鈴木 陽香1、田村 宥人1、伊藤 仁1,2、関根 誠1、堀 勝1、豊田 浩孝1 (1.名大、2.東京エレクトロン)