14:45 〜 15:00 [16p-B10-5] ミニマルコータにおけるレジスト膜ウェハ面内均一性向上技術 〇田中 宏幸1,2、古賀 拓哉2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
15:30 〜 15:45 [16p-B10-7] ミニマル装置を用いた高速ガス切り替え貫通エッチング 〇田中 宏幸1,2、小木曽 久人1,2、中野 禅1,2、速水 利泰3、宮崎 俊也3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.SPPテクノロジーズ)